氦质谱检漏仪——背压法检漏的详细流程

背压法氦质谱检测优点：

1.检测灵敏度高

2.可以进行批量化检测

背压法氦质谱检漏流程：

1.使用压氦罐给工件压氦。

2.使用空气或氮气给工件清氦

3.使用检漏罐和检漏仪检测工件的漏率

4.计量相应时间的漏率，来判断工件是否有漏

背压法检测缺点：

1.不能进行大型密封容器的漏

2.在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能

背压法检测标准：

QJ3212-2005《氦质谱背压检漏方法》、GJB360A-1996《电子及电气元件试验方法方法 112 密封试验》
氦质谱检漏仪背压法检漏检漏过程的说明：

一、压氦

1.将工件放入压氦罐内，确认罐内清洁干净。

2.待工件放置好后，将压氦罐的盖放置到压氦罐上，用螺钉固定牢靠。

3.再将压氦罐球阀接口与氦气瓶连接。

4.确认连接OK后，先将压氦罐的球阀打开，再开启氦气瓶的减压阀，控制检验阀的出气压力，待压氦罐上的压力表指示到规定的压力后，关闭压氦罐的球阀，再关闭氦气瓶的阀和减压阀。

5.断开气瓶与压氦罐的管路，（注意：管路内还有压力）将压氦罐放置到安全区域保压规定时间。

6.保压时间到后，将压氦罐内地氦气放至外界大气中或使用氦气袋回收。

二、清氦

7.将固定压氦罐盖的螺钉拆卸下来，再将罐盖打开。

8.取出工件，使用空气或氮气将工件表面残留的氦气清除。

9.放置好工件待用。

三、检漏

10.将检漏罐装配到检漏仪的检漏口，使用检漏仪抽空，本底值最小。

11.“停止”检漏仪，打开检漏罐，将工件分批的放置到检漏罐内。再“开始”检漏仪。

12.检漏仪按下“开始”后开始计时和观察检漏仪漏率值。

13.分别记录检漏仪开始后第10秒、第20秒、第30秒、第60秒的漏率值。

14.记录结束后“停止”检漏仪，取出工件。

15.再次重复第11-14项，检测其它工件。
氦质谱检漏仪——背压法检漏的注意事项

检漏过程会有以下现象：

1.氦质谱检漏仪只能检测微漏的工件；大漏的工件，在清氦过程，压入内部的氦气就可能泄露出来，在氦检时就检测不到氦气漏出。

2.工件清氦后，放置待检时间不要超过1小时，防止压入的氦气漏出。

3.实验测试时是单独检测工件；批量检测时检漏仪的本底值会成倍的大于单独检测的本底值。

4.批量检测时，发现有漏件，可以逐渐减半的方式，找到具体的漏件。

5.每次检测时，可以空检检漏罐并记录相应的漏率值，做为检测的对比参数。

诺益科技提醒大家，无论采用哪种检漏方法，都要求操作者有细心观察能力和高度责任感，因为误检和漏检将造成损失，另外操作者发现未知事物的警觉性和熟练程度也是很重要的。

氦质谱检漏仪——背压法检漏的详细流程

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